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一种电子回旋共振离子源的强流脉冲离子束产生装置及方法 

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申请/专利权人:中国科学院近代物理研究所

摘要:本发明涉及一种电子回旋共振离子源的强流脉冲离子束产生装置及方法,属于粒子加速器领域,其中该装置包括电子回旋共振离子源和引出电极,引出电极包括等离子体电极和抑制电极,等离子体电极的环上外壁插设并固定在等离子体弧腔的离子出口的内壁上,实现与等离子体弧腔的电连接;抑制电极与等离子体电极通过气隙绝缘,且等离子体电极的环内与抑制电极的内部相连通形成束流通道。其中,抑制电极用于承接变化电压,当抑制电极上的电压高于等离子体电极上的电压时,离子在等离子体弧腔内累积;当抑制电极上的电压低于等离子体电极上的电压时,累积在等离子体弧腔内的离子被释放,形成强流脉冲离子束,强流脉冲离子束最后通过束流通道引出。

主权项:1.一种电子回旋共振离子源的强流脉冲离子束产生装置,包括电子回旋共振离子源,所述电子回旋共振离子源配置有等离子体弧腔10,其特征在于,还包括引出电极,所述引出电极包括等离子体电极21和抑制电极22,所述等离子体电极21和所述抑制电极22均采用金属材质制造而成;所述等离子体电极21为环状结构,所述等离子体电极21的环上外壁插设并固定在所述等离子体弧腔10的离子出口101的内壁上,实现与等离子体弧腔10电连接;所述等离子体弧腔10的离子出口端配置有右法兰盘32,所述抑制电极22为两端开口、内部中空的结构体,所述抑制电极22通过右法兰盘32设置在等离子体弧腔10的离子出口端的外侧,所述抑制电极22与所述等离子体电极21通过气隙绝缘;所述抑制电极22的前端端面与所述等离子体电极21的后端端面通过气隙绝缘,且所述等离子体电极21的环内与所述抑制电极22的内部相连通形成束流通道200;其中,所述抑制电极22用于承接变化电压,当抑制电极22上的电压高于等离子体电极21上的电压时,离子在等离子体弧腔10内累积;当抑制电极22上的电压低于等离子体电极21上的电压时,累积在等离子体弧腔10内的离子被释放,形成强流脉冲离子束,且所述强流脉冲离子束从所述束流通道200引出。

全文数据:

权利要求:

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