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申请/专利权人：深圳市瀚强科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种射频电源设备以及射频电源系统，涉及射频技术领域，射频电源设备包括N个射频源和N个串联谐振单元；N个射频源用于分别输出N个射频信号，且N个射频信号的频率互不相同；N个串联谐振单元分别位于N个射频源的输出路径中，每一串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过或不通过；其中，至少一个串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过，以使得对应的至少一个射频源输出的至少一个射频信号传输至负载，其中，N≥2。本申请可向负载输出一个或多个不同频率的射频信号。
主权项：1.一种射频电源设备，其特征在于，包括：N个射频源，用于分别输出N个射频信号，且所述N个射频信号的频率互不相同；N个串联谐振单元，所述N个串联谐振单元分别位于所述N个射频源的输出路径中，每一串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过或不通过；其中，至少一个串联谐振单元用于使得对应的射频源输出的射频信号通过，以使得对应的至少一个射频源输出的至少一个射频信号传输至负载，其中，N≥2；每一射频源均包括输出端，用于输出对应的射频信号，每一串联谐振单元的一端与对应的射频源的输出端连接，每一串联谐振单元的另一端与所述负载连接；所述射频电源设备还包括N个开关单元，所述N个开关单元与所述N个射频源以及所述N个串联谐振单元一一对应，每一开关单元连接于对应的射频源的输出端与对应的串联谐振单元的一端之间；其中，所述N个开关单元用于导通或者断开对应的射频源的输出端与对应的串联谐振单元的一端之间的连接路径；在所述N个射频源向所述负载输出，且所述N个射频信号中的至少一个射频信号传输至所述负载时，传输至所述负载的至少一个射频信号为第一组射频信号，切换至少一个开关单元的导通或断开状态，以使得传输至所述负载的至少一个射频信号为第二组射频信号，其中，在向所述负载传输所述第一组射频信号达到第一预设时长时，切换至少一个开关单元的导通或断开状态，以使得传输至所述负载的至少一个射频信号为所述第二组射频信号。
全文数据：
权利要求：
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