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申请/专利权人：北京燕东微电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及漏点检测技术领域，具体提供一种真空设备的漏点检测装置和漏点检测系统，旨在解决现有的真空设备的漏点检测装置控制方式复杂且不够精确的问题。为此，本实用新型的真空设备的漏点检测装置包括：第一管体，具有进气端和排气端；开关组件，其连通设置于第一管体上，开关组件用于控制第一管体内通道的通断；第一调节阀，其一端与第一管体的进气端连通，第一调节阀的另一端用于连接外部气源，以使气体能够经第一调节阀进入第一管体。上述漏点检测装置通过第一调节阀和开关组件的组合，不仅能够较为精准地控制气体流量，减少因多余气体的蔓延造成误判漏气点的情况，提高漏点查找的准确率，还可以提高使用的灵活性和操作人员的工作效率。
主权项：1.一种真空设备的漏点检测装置，其特征在于，包括：第一管体，其具有进气端和排气端；开关组件，其连通设置于所述第一管体上，所述开关组件用于控制所述第一管体内通道的通断；第一调节阀，其一端与所述第一管体的进气端连通，所述第一调节阀的另一端用于连接外部气源，以使气体能够经所述第一调节阀进入所述第一管体。
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百度查询： 北京燕东微电子科技有限公司 一种真空设备的漏点检测装置和漏点检测系统
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