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申请/专利权人：吉林大学

摘要：一种调制不敏感的双模波导光开关及其制备方法，属于平面光波导器件技术领域。从下至上依次由硅片衬底、聚合物下包层、聚合物光波导芯层、聚合物上包层组成，聚合物光波导芯层被包覆在聚合物上包层之中，聚合物光波导芯层材料的折射率高于聚合物上包层和聚合物下包层材料的折射率。本发明利用了非对称定向耦合结构和非对称Y分支结构简单和有机聚合物材料热光系数大的优势，通过在加热电极调制时利用非对称Y分支进行模式转换从而实现对两个信号光学模式的不敏感调制开关；本发明制备工艺简单，只需要旋涂、光刻、湿法刻蚀等，有效降低了生产成本，提高了器件的生产效率且有利于大规模批量生产，使得该模式信号光开关能够应用到实际当中。

主权项：1.一种调制不敏感的双模波导光开关，其特征在于：从下至上依次由硅片衬底51、聚合物下包层52、聚合物光波导芯层53、聚合物上包层54组成，聚合物光波导芯层53被包覆在聚合物上包层54之中，聚合物光波导芯层53材料的折射率高于聚合物上包层54和聚合物下包层52材料的折射率；聚合物光波导芯层53由非对称定向耦合波导结构和非对称Y分支光波导结构级联而成，从左至右沿信号光的传播方向，依次由结构和尺寸相同的第一输入少模直波导1和第二输入少模直波导2、第一非对称定向耦合结构3、结构和尺寸相同且相互平行的第一平行直波导4和第二平行直波导5、结构和尺寸相同的第一非对称Y分支6和第二非对称Y分支7、结构和尺寸相同且相互平行的第三平行直波导8和第四平行直波导9、第二非对称定向耦合结构10、结构和尺寸相同的第三非对称Y分支11和第四非对称Y分支12、结构和尺寸相同的第一输出少模直波导13和第二输出少模直波导14组成；第一非对称定向耦合结构3和第二非对称定向耦合结构10关于第一非对称Y分支6和第二非对称Y分支7对称设置，在第二平行直波导5和第四平行直波导9正上方的聚合物上包层54之上分别制备有第一加热电极15和第二加热电极16；第一非对称定向耦合结构3沿信号光的传播方向依次由结构和尺寸相同的第一S弯曲波导17和第二S弯曲波导18、结构和尺寸相同的第一少模直波导19和第二少模直波导20、第一锥形波导21和第二锥形波导22、第三少模直波导23和第四少模直波导24、第三锥形波导25和第四锥形波导26、结构和尺寸相同的第五少模直波导27和第六少模直波导28、结构和尺寸相同的第三S弯曲波导29和第四S弯曲波导30组成；第二非对称定向耦合结构10沿信号光的传播方向依次由结构和尺寸相同的第五S弯曲波导31和第六S弯曲波32、结构和尺寸相同的第七少模直波导33和第八少模直波导34、第五锥形波导35和第六锥形波导36、第九少模直波导37和第十少模直波导38、第七锥形波导39和第八锥形波导40、结构和尺寸相同的第十一少模直波导41和第十二少模直波导42、结构和尺寸相同的第七S弯曲波导43和第八S弯曲波导44组成；第一非对称Y分支6、第二非对称Y分支7、第三非对称Y分支11和第四非对称Y分支12的结构和尺寸相同，沿信号光的传播方向依次由第九S弯曲波导45和第十S弯曲波导46、第九锥形波导47和第十锥形波导48、第十一S弯曲波导49和第十二S弯曲波导50组成。

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