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申请/专利权人：珠海莫界科技有限公司
摘要：本申请公开了一种波导片软膜压印方法及波导片，压印方法包括：提供载体薄膜和晶圆，载体薄膜上含有光栅图案；在载体薄膜朝向晶圆一侧的表面加工形成3μm以上的涂层；在晶圆朝向载体薄膜一侧的表面加工形成3μm以上的胶层；将载体薄膜贴附于晶圆，使得载体薄膜表面的涂层与晶圆表面的胶层相接触；施加压力将载体薄膜上的光栅图案转印至晶圆；对晶圆进行固化处理，将载体薄膜从晶圆上剥离，以留下含有光栅图案的晶圆，完成转印。通过精确控制涂层和胶层的厚度，使得增厚的涂层和胶层能够在转印过程中能够有效填补和遮盖载体薄膜表面以及晶圆表面的缺陷，大幅度提升了产品的外观质量，减少了因表面缺陷导致的废品率，提升外观良率。
主权项：1.一种波导片软膜压印方法，其特征在于，包括：提供载体薄膜和晶圆，所述载体薄膜上含有光栅图案；在所述载体薄膜朝向所述晶圆一侧的表面加工形成3μm以上的涂层；在所述晶圆朝向所述载体薄膜一侧的表面加工形成3μm以上的胶层；将所述载体薄膜贴附于所述晶圆，使得所述载体薄膜表面的涂层与所述晶圆表面的胶层相接触；施加压力将所述载体薄膜上的光栅图案转印至所述晶圆；对所述晶圆进行固化处理，将所述载体薄膜从所述晶圆上剥离，以留下含有光栅图案的晶圆，完成转印。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海莫界科技有限公司 波导片软膜压印方法及波导片
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