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申请/专利权人：徐州市威固特种玻璃有限公司
摘要：本发明公开了一种特种玻璃镀膜装置及其镀膜工艺，涉及玻璃镀膜技术领域；为了解决传统镀膜方法热输入较高造成基板形变和出现裂纹的问题；具体包括以下步骤：选择符合要求的金属材料，将其切割成符合靶材尺寸要求的块状，对切割好的金属靶材进行表面除杂、抛光和打磨处理，以备用；将激光束聚焦到金属靶材上，使其蒸发、产生等离子，然后沉积在特种玻璃表面上；通过激光沉积，金属靶材逐渐沉积在特种玻璃表面，形成所需的薄膜结构；将镀膜的特种玻璃放入热处理中进行退火处理，并通过离子注入薄膜表面，改变薄膜的化学成分和结构。本发明在激光沉积过程中，热输入较低，减少对特种玻璃基板的热影响，降低了基板变形和裂纹的风险。
主权项：1.一种特种玻璃镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1：材料准备：选择符合要求的金属材料，将其切割成符合靶材尺寸要求的块状，对切割好的金属靶材进行表面除杂、抛光和打磨处理，以备用；S2：激光沉积：将激光束聚焦到金属靶材上，使其蒸发、产生等离子，然后沉积在特种玻璃表面上；S3：薄膜形成：通过激光沉积，金属靶材逐渐沉积在特种玻璃表面，形成所需的薄膜结构；S4：后处理：将镀膜的特种玻璃放入热处理中进行退火处理，并通过离子注入薄膜表面，改变薄膜的化学成分和结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 徐州市威固特种玻璃有限公司 一种特种玻璃镀膜装置及其镀膜工艺
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