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申请/专利权人：国鲸合创(青岛)科技有限公司;国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明涉及柔性发光材料蒸镀技术领域，尤其涉及一种可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，包括蒸镀室、托盘和蒸镀组件；托盘安装于蒸镀室内，顶面用于承载柔性基板，能够绕自身轴线旋转，以带动柔性基板旋转；蒸镀组件安装于蒸镀室内，且位于托盘的上方，能够向下释放气态物料，以在柔性基板的顶面形成蒸镀膜。整体上，实现了向下蒸镀的方式，相对于传统的向上蒸镀的方式，借助托盘，使得面积较大的柔性基板的各部位在竖直方向上的高度一致，有利于在柔性基板的顶面上形成厚度较为均一的蒸镀膜。柔性基板的安装和拆卸极为方便，保障蒸镀效率，可实现批量化生产。托盘能够带动柔性基板旋转，更加有利于形成厚度较为均一的蒸镀膜。
主权项：1.一种可以使柔性基板旋转的蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀室；托盘，安装于所述蒸镀室内，顶面用于承载柔性基板，能够绕自身轴线旋转，以带动所述柔性基板旋转；蒸镀组件，安装于所述蒸镀室内，且位于所述托盘的上方，能够向下释放气态物料，以在所述柔性基板的顶面形成蒸镀膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国鲸合创(青岛)科技有限公司 国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司 可以使柔性基板旋转的蒸镀设备
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