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申请/专利权人：美商楼氏电子有限公司
摘要：本公开涉及具有电极和电介质的MEMS装置。MEMS装置可以包括第一支撑层、第二支撑层和悬置在第一支撑层与第二支撑层之间的固体电介质。固体电介质可以相对于第一支撑层和第二支撑层移动，并且可以包括多个孔。MEMS装置可以包括第一多个电极，所述第一多个电极联接到第一支撑层和第二支撑层并且延伸穿过所述多个孔的第一子集。MEMS装置可以包括第二多个电极，所述第二多个电极联接到第一支撑层并且部分地延伸到所述多个孔的第二子集中。MEMS装置可以包括第三多个电极，所述第三多个电极联接到所述第二支撑层并且部分地延伸到所述多个孔的第三子集中。
主权项：1.一种微机电系统MEMS装置，所述MEMS装置包括：第一支撑层；第二支撑层；固体电介质，所述固体电介质被悬置在所述第一支撑层与所述第二支撑层之间，使得所述固体电介质相对于所述第一支撑层和所述第二支撑层移动，其中，所述固体电介质包括多个孔；第一多个电极，所述第一多个电极联接到所述第一支撑层和所述第二支撑层，所述第一多个电极延伸穿过所述多个孔的第一子集；第二多个电极，所述第二多个电极联接到所述第一支撑层，所述第二多个电极部分地延伸到所述多个孔的第二子集中；以及第三多个电极，所述第三多个电极联接到所述第二支撑层，所述第三多个电极部分地延伸到所述多个孔的第三子集中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 美商楼氏电子有限公司 具有电极和电介质的MEMS装置
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