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申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光刻数据传输装置以及光刻设备，该装置包括：上位机，用于发送光刻数据；数据传输单元，数据传输单元与上位机通讯连接，用于传输光刻数据，数据传输单元的传输速率大于10Gb，且数据传输单元包括可定制传输协议的接口以及可更新固件功能的接口；数据处理单元，数据处理单元与数据传输单元通讯连接，用于接收数据传输单元传输的光刻数据，并对光刻数据进行处理。本实用新型可以解决光刻数据传输过程中的多个问题，例如包括性能限制、可获得性限制、传输速率要求以及数据传输成本较高的问题，提高了数据的保密性，同时，还可根据具体应用的需求进行定制和扩展，具有良好的扩展性和灵活性。
主权项：1.一种光刻数据传输装置，其特征在于，包括：上位机，用于发送光刻数据；数据传输单元，所述数据传输单元与所述上位机通讯连接，用于传输所述光刻数据，所述数据传输单元的传输速率大于10Gb，且所述数据传输单元包括可定制传输协议的接口以及可更新固件功能的接口；数据处理单元，所述数据处理单元与所述数据传输单元通讯连接，用于接收所述数据传输单元传输的光刻数据，并对所述光刻数据进行处理。
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百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 光刻数据传输装置以及光刻设备
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