龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：本公开涉及基底平坦化装置和沉积系统。根据本公开的实施例的基底平坦化装置可以包括：外围耦接器，包括：配置为附接到基底的外围区域的第一静电卡盘和配置为在第一可移动范围内在垂直方向上升高或降低所述第一静电卡盘的第一升降器；以及中央耦接器，包括：配置为附接到所述基底的中央区域的第二静电卡盘和配置为在大于所述第一可移动范围的第二可移动范围内在所述垂直方向上升高或降低所述第二静电卡盘的第二升降器。根据依据本公开的实施例的所述基底平坦化装置、包括所述基底平坦化装置的沉积系统以及操作所述基底平坦化装置的方法，可以对所述基底进行平坦化。
主权项：1.一种基底平坦化装置，其特征在于，所述基底平坦化装置包括：外围耦接器，包括第一静电卡盘和第一升降器，所述第一静电卡盘配置为附接到基底的外围区域，所述第一升降器配置为在第一可移动范围内在垂直方向上升高或降低所述第一静电卡盘；以及中央耦接器，包括第二静电卡盘和第二升降器，所述第二静电卡盘配置为附接到所述基底的中央区域，所述第二升降器配置为在大于所述第一可移动范围的第二可移动范围内在所述垂直方向上升高或降低所述第二静电卡盘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星显示有限公司 基底平坦化装置和沉积系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号