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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本实用新型提供一种回风装置及气浴系统。其中，回风装置包括：回风管和调风组件；回风管的部分侧壁具有多个第一网孔，以使气体能够流入回风管；调风组件包括多个挡板；多个挡板分别覆盖于回风管的外侧壁，且能够相对回风管移动，以经遮挡对应的第一网孔，分别调节回风管中各个区域流入的风量。可见，本实用新型利用调风组件中的挡板分段式调节回风管各个区域的进风量，以确保回风管内进气量均衡。以及，在气浴系统中，经各个挡板的调节，每个回风装置内的进风量均相等，避免了因防护壳体内部分区域风量过大而形成涡流、局部高速区或高污染区等，以及避免因部分区域风量过小而形成局部流动死区等，有效保障设备运行的稳定性和设备空间高洁净度。
主权项：1.一种回风装置，其特征在于，包括回风管和调风组件；所述回风管的部分侧壁具有多个第一网孔，以使气体能够流入所述回风管；所述调风组件包括多个挡板；所述多个挡板分别覆盖于所述回风管的外侧壁，且能够相对所述回风管移动，以经遮挡对应的所述第一网孔，分别调节所述回风管中各个区域流入的风量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 回风装置及气浴系统
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