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一种用于硅片的送料提升装置 

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申请/专利权人:诺德凯(苏州)智能装备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种用于硅片的送料提升装置,包括主机架和副机架,所述主机架的两侧分别设置有副机架,副机架的顶部安装有横梁,横梁上安装有吸附输送机构,副机架底部的一侧安装有第一Z轴线性模组,第一Z轴线性模组上安装有第一接料机构,副机架底部的另一侧安装有第一支撑架,第一支撑架的中部安装有第一输送组件,第一支撑架上安装有支撑柱,支撑柱上安装有第二接料机构,主机架的两侧均安装有升降输送机构;本实用新型能够依次对硅片进行交替式接料送料,一组硅片在进行接料作业时,另一组硅片在进行对齐送料作业,从而实现了不间断连续送料作业,提高了硅片送料作业的效率。

主权项:1.一种用于硅片的送料提升装置,其特征在于:包括主机架1和副机架2,所述主机架1的两侧分别设置有副机架2,副机架2的顶部安装有横梁3,横梁3上安装有吸附输送机构4,副机架2底部的一侧安装有第一Z轴线性模组5,第一Z轴线性模组5上安装有第一接料机构6,副机架2底部的另一侧安装有第一支撑架7,第一支撑架7的中部安装有第一输送组件8,第一支撑架7上安装有支撑柱9,支撑柱9上安装有第二接料机构10,主机架1的两侧均安装有升降输送机构11。

全文数据:

权利要求:

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