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集成芯片 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:本实用新型的实施例提供一种集成芯片包括位于基础介电层之上的半导体波导层。半导体波导层形成总线波导及位于总线波导旁边的微环形波导。加热器位于微环形波导之上。加热器包括加热器环、第一加热器接触接垫、自加热器环延伸至第一加热器接触接垫的第一加热器臂、第二加热器接触接垫及自加热器环延伸至第二加热器接触接垫的第二加热器臂。第一接触件在第一加热器接触接垫处耦合至加热器。第二接触件在第二加热器接触接垫处耦合至加热器。第一加热器臂的宽度随着距加热器环的距离增大而以非线性方式增大,以用于改善加热器的效能及效率。

主权项:1.一种集成芯片,其特征在于,包括:半导体波导层,位于基础介电层之上,所述半导体波导层形成总线波导及位于所述总线波导旁边的微环形波导;加热器,位于所述微环形波导之上,所述加热器包括加热器环、第一加热器接触接垫、自所述加热器环延伸至所述第一加热器接触接垫的第一加热器臂、第二加热器接触接垫及自所述加热器环延伸至所述第二加热器接触接垫的第二加热器臂;第一接触件,在所述第一加热器接触接垫处耦合至所述加热器;以及第二接触件,在所述第二加热器接触接垫处耦合至所述加热器;其中所述第一加热器臂的宽度随着距所述加热器环的距离增大而以非线性方式增大。

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权利要求:

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