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申请/专利权人：赛可特气体技术(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种用于生产电子级一氟甲烷的装置；包括原料气钢瓶以及产品气钢瓶，所述原料气钢瓶与用于脱除六氟乙烷的催化塔相连，催化塔的出口与用于脱除酸性气体以及水分的吸附部相连，吸附部的出口通过精馏部与充装部相连，充装部的出口通过产品气钢瓶相连；能够在脱除六氟乙烷和酸组分的基础上，使原料气进入精馏部，以实现在降低能耗、减轻精馏塔运行负荷、延长精馏塔使用寿命和能够生产出电子级一氟甲烷的特点。
主权项：1.一种用于生产电子级一氟甲烷的装置，包括原料气钢瓶1以及产品气钢瓶2，其特征在于：所述原料气钢瓶1与用于脱除六氟乙烷的催化塔3相连，催化塔3的出口与用于脱除酸性气体以及水分的吸附部相连，吸附部的出口通过精馏部与充装部相连，充装部的出口通过产品气钢瓶2相连。
全文数据：
权利要求：
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