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申请/专利权人：北京飞秒留声科技有限公司
摘要：本发明涉及MEMS气室充气设备技术领域，具体提供一种晶圆级MEMS气室的充气设备，旨在解决现有技术中MEMS气室充气时易污染气室透光面的问题。为此目的，本发明的晶圆级MEMS气室的充气设备包括充气腔体、键合腔体、充气组件及冷却组件，所述充气腔体与所述键合腔体连通；所述充气组件设置在所述充气腔体内，所述冷却组件部分设置在所述充气腔体内；所述冷却组件包括冷却台，所述冷却台适于承载待充气气室，所述充气组件包括充气管，所述充气管的出气端被配置成伸入到待充气气室底部。通过上述方案，使由充气管填充到待充气气室底部的气体在气室底部直接凝结，从而不会污染气室的透光面，从而实现无杂质、无污染地填充气室。
主权项：1.一种晶圆级MEMS气室的充气设备，其特征在于，所述充气设备包括：充气腔体1及键合腔体2，所述充气腔体1与所述键合腔体2连通；充气组件3及冷却组件4，所述充气组件3设置在所述充气腔体1内，所述冷却组件4部分设置在所述充气腔体1内；所述冷却组件4包括冷却台5，所述冷却台5适于承载待充气气室6，所述充气组件3包括充气管7，所述充气管7的出气端被配置成伸入到待充气气室6底部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京飞秒留声科技有限公司 晶圆级MEMS气室的充气设备
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