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申请/专利权人：阿德特克等离子技术公司
摘要：提供一种电抗可变电路以及具备该电路的阻抗匹配装置。阻抗匹配装置能以紧凑的结构进行高电压的通电，高速地进行阻抗的匹配，具备电抗可变电路。电抗可变电路具备：第一线路、包括与第一线路松耦合的第二线路的松耦合线路部和设置于第二线路以及接地间的电容可变部。第二线路的一端与接地连接。电容可变部具有：在第二线路的另一端以及接地间连接的二极管；在第二线路的该另一端以及二极管间与二极管串联连接的电容器；在电容器以及二极管间的连接点与接地之间连接，对二极管施加反向偏置电压的可变直流电源；和在该连接点以及接地之间，与可变直流电源串联连接的电阻。
主权项：1.一种电抗可变电路，其特征在于，具备包括第一线路以及与所述第一线路松耦合的第二线路在内的松耦合线路部，所述松耦合线路部的所述第二线路的一端与接地连接，还具备在所述松耦合线路部的所述第二线路以及接地之间设置的电容可变部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 阿德特克等离子技术公司 电抗可变电路以及具备该电路的阻抗匹配装置
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