龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：准懋(杭州)科技有限公司
摘要：本申请公开了一种MEMS器件，包括：敏感单元，敏感单元包括可动电极板，位于可动电极板第一侧的第一电极板和位于可动电极板第二侧的第二电极板，第一电极板与可动电极板构成第一电容；第二电极板与可动电极板构成第二电容；第一电容和第二电容共同构成敏感单元的检测电容；差模检测模块，第一电容和第二电容连接至差模检测模块的输入端，差模检测模块实现第一电容和第二电容的差模检测；共模检测模块，第一电容和第二电容连接至共模检测模块的输入端，共模检测模块实现第一电容和第二电容的共模检测；以及非线性消除模块，差模检测模块的输出端和共模检测模块的输出端分别连接至非线性消除模块的输入端。
主权项：1.一种MEMS器件，包括：敏感单元，所述敏感单元包括可动电极板，位于所述可动电极板第一侧的第一电极板和位于所述可动电极板第二侧的第二电极板，所述第一电极板与所述可动电极板构成第一电容；所述第二电极板与所述可动电极板构成第二电容；所述第一电容和所述第二电容共同构成所述敏感单元的检测电容；差模检测模块，所述第一电容和所述第二电容连接至所述差模检测模块的输入端，所述差模检测模块实现所述第一电容和所述第二电容的差模检测；共模检测模块，所述第一电容和所述第二电容连接至所述共模检测模块的输入端，所述共模检测模块实现所述第一电容和所述第二电容的共模检测；以及非线性消除模块，所述差模检测模块的输出端和所述共模检测模块的输出端分别连接至所述非线性消除模块的输入端，所述非线性消除模块用于消除所述敏感单元的检测电容变化与可动电极板位移的非线性关系。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 准懋(杭州)科技有限公司 一种MEMS器件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号