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申请/专利权人：中国计量科学研究院;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
摘要：本发明公开一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法，涉及精密仪器检测领域。所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接。本发明实施例利用对光栅反射的相互干涉的衍射光进行合束，得到干涉光，然后对干涉光进行分束，得到偏振方向相同且相位不同的分束光，通过对偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算的方式实现光栅表面缺陷的定性和定量的检测，并且本发明实施例对干涉光进行测量，克服了由于光栅表面对环境光反射造成的图像检测精度低的缺陷，提高了检测精度。
主权项：1.一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接；所述激光器用于向光栅发射至少两束相互干涉的衍射光；所述传输分光组件用于接收光栅反射的两束衍射光，并将两束衍射光合束之后再分光，得到两束偏振方向相同且相位不同的分束光；所述第一光接收器和所述第二光接收器分别用于接收两束偏振方向相同且相位不同的分束光，并发送给所述分析仪；所述分析仪用于对两束偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算，获得相位解算结果；所述相位解算结果用于表征光栅表面缺陷的程度。
全文数据：
权利要求：
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