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申请/专利权人：成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司;电子科技大学
摘要：本发明提供了一种高通量多探针测试系统，包括：自动探针臂系统、平移台系统、样品台组件、显微镜系统、视觉系统、安全防护罩、防震桌、恒流恒压电源、控制操作系统；所述探针臂系统，能够调整探针的位置；所述探针能够检测待测样品并可以在视觉系统中实时观测；所述平移台系统承载了样品台组件，控制样品台组件的运动；所述样品台组件承载或固定样品，并将样品送到磁场测试；所述显微镜系统能够观察到样品与探针的接触情况；所述视觉系统能够呈现样品与探针的状态；本发明不仅能对样品进行高通量检测，还保证了实验人员的安全和测试稳定性。
主权项：1.一种高通量多探针测试系统，其特征在于，包括自动探针臂系统、平移台系统、样品台组件、显微镜系统、视觉系统、安全防护罩、防震桌、恒流恒压电源、控制操作系统，所述探针臂系统，能够调整探针的位置；所述探针能够检测待测样品并可以在视觉系统中实时观测；所述平移台系统承载了样品台组件，控制样品台组件的运动；所述样品台组件承载或固定样品，并将样品送到下一组测试；所述显微镜系统能够观察到样品与探针的接触情况；所述视觉系统能够呈现样品与探针的状态；所述安全防护罩能够保护实验人员的安全，同时能够隔绝外部环境对测试环境的影响；所述防震桌能够隔绝地面的震动，保证测试过程的稳定性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都先进金属材料产业技术研究院股份有限公司 电子科技大学 一种高通量多探针测试系统
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