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申请/专利权人：北京中科科美科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种CDV法二维材料快速生长设备及工艺流程，快速生长设备包括支架、管式炉机构、投料室、取放样机构、升降机构、真空泵、工艺气源和控制器。本发明实现了二维材料的快速生长，且得到的二维材料质量佳。
主权项：1.一种CDV法二维材料快速生长设备，其特征在于，包括支架1、管式炉机构2、投料室3、取放样机构4、升降机构5、真空泵6、工艺气源7和控制器8；所述管式炉机构2设置于所述支架1的顶部；所述管式炉机构2的两端对称的设置有所述投料室3，所述投料室3通过波纹管31与所述管式炉机构2相连，所述投料室3与波纹管31之间设置有插板阀32，所述投料室3设置有箱门33，所述管式炉机构2固定设置有与所述投料室3一一对应的料座24；所述投料室3远离所述管式炉机构2的一侧密封连接有所述取放样机构4，所述取放样机构4伸入所述投料室3内，用于将托架44穿过所述波纹管31放置到对应的所述料座24上以及将所述托架44从料座24上取下带回至所述投料室3；所述投料室3和与其相连的取放样机构4的下方设置有所述升降机构5，用于驱动所述投料室3和与其相连的取放样机构4一同升降以辅助完成所述托架44的取放；所述真空泵6通过高压管路分别与所述管式炉机构2和投料室3相连；所述工艺气源7通过流量调节阀71和流量计72与所述管式炉机构2相连；所述管式炉机构2、插板阀32、取放样机构4、升降机构5、真空泵6、流量调节阀71和流量计72均与所述控制器8电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科美科技股份有限公司 一种CDV法二维材料快速生长设备及工艺流程
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