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申请/专利权人：南通大学
摘要：本发明的实施例提供了一种集成能量约束器的氮化铝兰姆波谐振器及其制备方法，属于射频MEMS器件领域。所述氮化铝兰姆波谐振器包括：衬底，所述衬底的中心处设置有空腔；氮化铝薄膜，位于衬底的上表面上并包括覆盖在所述空腔上方的第一部分和覆盖在衬底上除空腔之外的第二部分；谐振体，所述谐振体包括位于第一部分上表面的顶部叉指电极和位于下表面上的底部叉指电极；声学反射器，所述声学反射器包括位于第二部分的上表面上并且间隔设置的多个金属条。本发明提供的集成能量约束器的氮化铝兰姆波谐振器，具有高品质因数和散热性能好的特点，能够实现高频的新型侧向支撑轴结构的谐振器。
主权项：1.一种集成能量约束器的氮化铝兰姆波谐振器，其特征在于，所述氮化铝兰姆波谐振器包括：衬底，所述衬底的中心处设置有空腔；氮化铝薄膜，位于衬底的上表面上并包括覆盖在所述空腔上方的第一部分和覆盖在衬底上除空腔之外的第二部分；谐振体，所述谐振体包括位于第一部分上表面的顶部叉指电极和位于下表面上的底部叉指电极；声学反射器，所述声学反射器包括位于第二部分的上表面上并且间隔设置的多个金属条。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通大学 集成能量约束器的氮化铝兰姆波谐振器及其制备方法
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