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申请/专利权人：清华大学
摘要：本公开涉及一种双载波激励的高精度电容式角位移传感器。其定子敏感结构上设置有至少一个固定部，定子敏感结构通过各固定部固定在壳体上；转子敏感结构利用转轴固定在壳体上，且转子敏感结构的敏感面与定子敏感结构的敏感面正对、转子敏感结构的敏感面与定子敏感结构的敏感面之间具有预设距离；处理模块和对外连接接口设置在定子敏感结构的与敏感面相对的背面；定子敏感结构上设置有包括少一组正粗测接收电极以及对应的至少一组负粗测接收电极、正激励电极、负激励电极以及多组精测接收电极的多种定子电极；转子敏感结构上设置有对应于多种定子电极的第一转子电极和第二转子电极。测量精度高，抗干扰能力强，具有较好的环境适应性。
主权项：1.一种双载波激励的高精度电容式角位移传感器，其特征在于，包括：壳体、定子敏感结构、转子敏感结构、处理模块和与所述处理模块连接的对外连接接口，所述定子敏感结构上设置有至少一个固定部，所述定子敏感结构通过各所述固定部固定在所述壳体上；所述转子敏感结构利用转轴固定在所述壳体上，且所述转子敏感结构的敏感面与所述定子敏感结构的敏感面正对、所述转子敏感结构的敏感面与所述定子敏感结构的敏感面之间具有预设距离；所述处理模块和所述对外连接接口设置在所述定子敏感结构的与敏感面相对的背面；所述定子敏感结构上设置有多种定子电极，所述多种定子电极包括：至少一组正粗测接收电极以及对应的至少一组负粗测接收电极、正激励电极、负激励电极以及多组精测接收电极；各种定子电极分别连接到所述处理模块；所述转子敏感结构上设置有对应于所述多种定子电极的第一转子电极和第二转子电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 一种双载波激励的高精度电容式角位移传感器
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