买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：吉林大学

摘要：一种超宽带层间波导光分束器及其制备方法，属于层间波导光分束器及其制备技术领域。该分束器从下到上由硅衬底、聚合物光波导下包层、条形聚合物光波导下芯层、聚合物光波导中间包层、条形聚合物光波导上芯层、聚合物光波导上包层组成。本发明采用硅片作为衬底，以有机聚合物材料作为波导的下包层、中间包层和上包层、以折射率较大的有机聚合物材料作为波导的下芯层和上芯层，充分利用了有机聚合物材料种类多样、加工性强的优势。同时，本发明所采用的制备工艺简单、与半导体工艺兼容、易于集成、适于大规模生产，有效的扩展了聚合物基集成光电子器件在三维光子集成芯片当中的应用，因而具有重要的实际应用价值。

主权项：1.一种超宽带层间波导光分束器，其特征在于：从下到上由硅衬底31、在硅衬底31上制备的聚合物光波导下包层32、在聚合物光波导下包层32上制备的条形聚合物光波导下芯层33、在聚合物光波导下包层32和条形聚合物光波导下芯层33上制备的聚合物光波导中间包层34，在聚合物光波导中间包层34上制备的条形聚合物光波导上芯层35，在聚合物光波导中间包层34和条形聚合物光波导上芯层35上制备的聚合物光波导上包层36组成，条形聚合物光波导下芯层33被包覆在聚合物光波导中间包层34之中，条形聚合物光波导上芯层35被包覆在聚合物光波导上包层36之中；条形聚合物光波导下芯层33由分立的下层输出波导1、下层左侧直波导2、下层输入直波导3和下层右侧直波导4组成，条形聚合物光波导上芯层35由上层输出直波导5组成；下层左侧直波导2和下层右侧直波导4关于下层输入直波导3对称设置，上层输出直波导5与下层输入直波导3平行设置；下层输出波导1、下层左侧直波导2和下层右侧直波导4沿下层输入直波导3方向的投影长度与下层输入直波导3和上层输出直波导5的长度相等为L1，宽度相等为W1；在输入端，下层左侧直波导2与下层输入直波导3的间隙、下层右侧直波导4与下层输入直波导3的间隙相等为G1；在输出端，下层左侧直波导2与下层输入直波导3的间隙、下层右侧直波导4与下层输入直波导3的间隙相等为G2，且G1G2；在输入端，上层输出直波导5位于下层右侧直波导4的正上方，间隙为G3；下层输出波导1的位置使“下层输出波导1和下层左侧直波导2之间的耦合系数”与“下层右侧直波导4和上层输出直波导5之间的耦合系数”相同；条形聚合物光波导下芯层33和条形聚合物光波导上芯层35材料的折射率高于聚合物光波导下包层32、聚合物光波导中间包层34和聚合物光波导上包层36材料的折射率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种超宽带层间波导光分束器及其制备方法