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申请/专利权人：剑桥企业有限公司
摘要：概括地讲，本技术的实施例提供了用于纳米级应用的光学可读或机器可读基准标记，以及用于自动检测标记的方法。有利地，本技术的基准标记具有使其抵抗电子束光刻的处理步骤的特征。此外，该基准标记在以纳米级再现时是鲁棒的，并且具有高信息密度。
主权项：1.一种机器可读基准标记，包括：脊柱，包括短轴和长轴，其中，所述长轴和所述短轴的取向限定所述标记在衬底上的取向，并且其中所述脊柱限定：所述标记的形状，所述形状具有在预定阈值范围内的周长面积比，以及所述标记的至少两个区域；以及至少一个符号集，设置在所述至少两个区域中的一个或多个中，所述至少一个符号集对与衬底上的所述脊柱的质心相关的位置的坐标信息进行编码。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 剑桥企业有限公司 机器可读标记和识别方法
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