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申请/专利权人：南大光电半导体材料有限公司

摘要：本发明涉及反应釜技术领域，具体为一种用于检测前驱体材料气化特性的装置及使用方法，包括反应釜本体，所述反应釜本体的内部开设有反应室，所述反应釜本体的侧壁固定安装有用于向反应室的内部投入物料的导料管，所述反应釜本体的侧壁固定安装有排料管，所述导料管以及排料管的内部均设有控制阀，还包括S1，投料；S2，掺料；S3，气化；S4，收集。本发明通过电机带动反应室内部的转轴转动，对反应室内部的物料进行搅拌，进而提高反应室内部物料间的混合度，带动多个金属板转动，使得金属板快速地发热，然后对反应室内部的物料进行加热，加快反应室内部物料的气化，从而提高气体逸出的效率。

主权项：1.一种用于检测前驱体材料气化特性的装置，包括反应釜本体1，其特征在于：所述反应釜本体1的内部开设有反应室2，所述反应釜本体1的侧壁固定安装有用于向反应室2的内部投入物料的导料管3，所述反应釜本体1的侧壁固定安装有排料管27，所述导料管3以及排料管27的内部均设有控制阀，所述反应釜本体1的底部设有用于加快物料内部气体逸出的驱动机构，所述反应室2的底部设有与驱动机构配合的用于进一步加快气体逸出的加热机构，所述反应釜本体1的内部还开设有矩形腔12以及圆腔21，所述矩形腔12以及圆腔21的内部设有与驱动机构配合的用于对气体进行收集的转动机构；所述驱动机构包括固定安装在反应釜本体1底部的电机4，所述电机4的输出端固定安装有转轴6，所述反应釜本体1的底部开设有条形腔5，所述转轴6的上端贯穿条形腔5并延伸至反应室2的底部，所述转轴6的上端于反应室2的内部固定安装有用于对物料进行搅拌的搅拌杆9；所述加热机构包括等间距固定安装在搅拌杆9内部的多个金属板10，所述反应釜本体1的底部等间距固定安装有多个与金属板10配合的磁铁11；所述转动机构包括开设于反应釜本体1内部的装置腔19，所述矩形腔12与条形腔5的内部共同转动安装有转杆7，所述转杆7与转轴6之间通过传动带8传动连接，所述转杆7的外缘于矩形腔12的内部固定安装有主动轮13，所述矩形腔12与圆腔21之间共同转动安装有传动杆15，所述传动杆15的外缘于矩形腔12的内部固定安装有从动轮14，所述反应釜本体1的内部还开设有装置腔19，所述装置腔19的内底部固定安装有气缸20，所述气缸20的输出端固定安装有导杆17，所述导杆17的上端延伸至矩形腔12的内部且于矩形腔12的内部固定安装有连接板18，所述连接板18的上端转动安装有固定杆，所述固定杆的上端固定安装有传动齿轮16，所述主动轮13以及从动轮14共同与传动齿轮16啮合，所述传动杆15的上端延伸至圆腔21的内部并固定安装有扇叶22，所述圆腔21的底部通过进气管23与反应室2的内部相连通，所述反应釜本体1的外部固定安装有收集管24，所述收集管24的一端与圆腔21的相连通，所述收集管24的另一端连接有收集设备；所述反应釜本体1的上端固定安装有加料口25，所述反应室2的内顶部等间距固定安装有多个导管26，多个所述导管26的上端均与加料口25相连通，每个所述导管26的内部均固定安装有单向阀。

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