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申请/专利权人：极光先进雷射株式会社
摘要：窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1保持架沿对从输出耦合镜输出的激光的射束指向向第1方向变化进行抑制的方向旋转。
主权项：1.一种窄带化气体激光装置，其中，所述窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由所述窄带化装置和所述输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承所述输出耦合镜；第2保持架，其将所述第1保持架支承为能够绕所述第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于所述第2保持架，通过与所述第1保持架接触来使所述第1保持架绕所述旋转轴进行旋转，所述窄带化装置具有以下特性：当所述窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向所述输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化，所述第2保持架和所述调整装置构成为，通过所述第2保持架和所述调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使所述第1保持架沿对从所述输出耦合镜输出的激光的射束指向向所述第1方向变化进行抑制的方向旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 极光先进雷射株式会社 窄带化气体激光装置和电子器件的制造方法
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