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申请/专利权人：广东工业大学

摘要：本发明涉及偏振分光的共路空间相移双通道数字全息三维层析系统，其包括依次设置的部分相干光源模块、测量光波预置模块、角度扫描与显微成像模块、参物光分离模块、双通道相移干涉图采集模块和三维层析处理器；本系统将共路系统与双通道系统有序结合，在整个系统中测量光和参考光共路传输，节省了非共路传输系统的一侧光路的光学元件，此外部分相干光源模块产生部分相干光束，能够有效地避免来自器件之间来回反射引入的寄生条纹噪声的影响，且在参物光分离模块通过一空间偏振滤波组件对分离后的调制参照光进行空间滤波，滤除了调制参照光中含有物体信息的光信号，提高了参物光的干涉对比度，再通过双通道进行信息采集，提高了全息图的采集效率。

主权项：1.偏振分光的共路空间相移双通道数字全息三维层析系统，其特征在于，包括：依次设置的部分相干光源模块、测量光波预置模块、角度扫描与显微成像模块、参物光分离模块、双通道相移干涉图采集模块、和一三维层析处理器；所述部分相干光源模块产生的部分相干光束在所述测量光波预置模块中被一偏振分光棱镜一分束为入射参考光和入射测量光；所述入射参考光和所述入射测量光分别经过反射后又在所述偏振分光棱镜一合束为一扫描光，所述扫描光经过角度扫描显微成像模块后对待检测物体进行大范围照明，获得一调制光；所述参物光分离模块包括成像物镜，管透镜、参物分光组件、纠偏透镜一、纠偏透镜二；所述调制光依序经过所述成像物镜进行无穷远成像、经所述管透镜进行聚焦后，经所述参物分光组件分为沿原光路传输的物光和经过折射的调制参考光，所述物光沿原光路经过所述纠偏透镜一和纠偏透镜二的光轴，所述调制参考光经过纠偏透镜一折射后与所述物光平行地经过空间偏振滤波组件滤波，最后经过所述纠偏透镜二出射；所述调制参考光通过一空间偏振滤波组件滤波后与所述物光汇合进入所述双通道相移干涉图采集模块，所述物光和调制参考光中第一光分量被所述双通道相移干涉图采集模块中的图像传感器一接收，所述物光和调制参考光中第二光分量被所述双通道相移干涉图采集模块中的图像传感器二接收，所述第一光分量和第二光分量的光束偏振方向垂直；所述三维层析处理器根据所述图像传感器一和图像传感器二采集的全息图，计算三维层析成像。

全文数据：

权利要求：

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