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申请/专利权人：天津伍嘉联创科技发展股份有限公司

摘要：本发明涉及芯片生产技术领域，尤其涉及一种晶圆分选机，包括：机架；移载机构，包括第一安装架、安装于第一安装架且沿x方向延伸的直线电机模组、驱动连接于直线电机模组的第一连接板、沿z方向位置可调地连接于第一连接板的第二连接板以及转动连接于第二连接板的转盘组件；顶针机构，包括安装于第一安装架的第一电机，第一电机具有可沿y方向伸缩调节的第一驱动轴，第一驱动轴上连接有顶针套，顶针套连接有顶针；双转塔机构，包括第二安装架、安装于第二安装架且对应于转盘组件的第一转塔组件以及安装于第二安装架且位于第一转塔组件远离转盘组件的侧部的第二转塔组件；编带机构。本发明提高了晶圆的分选效率，减少了设备的占用空间。

主权项：1.一种晶圆分选机，芯片包括固定框以及连接于所述固定框的若干晶圆，其特征在于，包括：机架；移载机构，所述移载机构包括第一安装架、安装于所述第一安装架且沿x方向延伸的直线电机模组、驱动连接于所述直线电机模组的第一连接板、沿z方向位置可调地连接于所述第一连接板的第二连接板以及转动连接于所述第二连接板的转盘组件，所述芯片连接于所述转盘组件；顶针机构，所述顶针机构包括安装于所述第一安装架的第一电机，所述第一电机具有可沿y方向伸缩调节的第一驱动轴，所述第一驱动轴上连接有顶针套，所述顶针套连接有顶针，所述顶针对应于所述晶圆；双转塔机构，所述双转塔机构包括第二安装架、安装于所述第二安装架且对应于所述转盘组件的第一转塔组件以及安装于所述第二安装架且位于所述第一转塔组件远离所述转盘组件的侧部的第二转塔组件，所述第一转塔组件用以转移被所述顶针顶出的晶圆至所述第二转塔组件，所述双转塔机构还包括第一相机组件、第二相机组件以及第三相机组件，所述第一相机组件用以检测所述晶圆的侧面，所述第二相机组件以及所述第三相机组件分别用以检测所述晶圆相对的两个侧边；视觉机构，所述视觉机构固定于所述机架且对应于所述转盘组件，所述视觉机构连接于所述顶针机构，所述视觉机构用以检测所述晶圆；编带机构，通过所述第二转塔组件将所述晶圆放置于所述编带机构，进而所述编带机构封装晶圆；所述直线电机模组包括第二电机，所述第二电机具有可旋转的第二驱动轴，所述第二驱动轴连接有沿x方向延伸的第一丝杠，所述第一丝杠上螺合有第一导向套，所述第一连接板连接于所述第一导向套；所述第一安装架的侧面安装有沿x方向延伸的两个第一导轨，所述第一导轨滑设有第一滑块，所述第一连接板连接于所述第一滑块；所述第一连接板远离所述第一安装架的侧面安装有沿z方向延伸的两个第二导轨，所述第二导轨上滑设有第二滑块，所述第二连接板连接于所述第二滑块；所述移载机构还包括安装于所述第一安装架的第三电机，所述第三电机具有可旋转的第三驱动轴，所述第三驱动轴连接有沿z方向延伸的第二丝杠，所述第二丝杠上螺合有第二导向套，所述第二导向套连接于所述第二连接板；通过第三电机驱动所述第三驱动轴转动，以带动所述第二导向套沿z方向移动，从而带动所述第二连接板沿z方向移动；所述第二连接板开设有呈圆形的第一安装孔；所述转盘组件包括滚动连接于所述第一安装孔的内壁的若干滚轮、连接于所述滚轮且呈环形的安装轨道、连接于所述安装轨道且呈环形的环形盘以及高度可调地连接于所述环形盘的盖板组件，所述固定框连接于所述盖板组件；所述第一安装架的侧部设置有第四电机，所述第四电机具有可旋转的第四驱动轴，所述第四驱动轴上连接有主动轮，所述主动轮和所述安装轨道上连接有连接带，所述第一安装架对应于所述主动轮的位置还设置有张紧轮，所述张紧轮用以张紧所述连接带，通过所述第四电机转动，以带动所述主动轮转动，从而使得所述连接带带动所述安装轨道旋转。

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