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一种硅微粉负压收集装置 

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申请/专利权人:安徽晶华电子基材有限公司

摘要:本实用新型涉及硅微粉收集技术领域,公开了一种硅微粉负压收集装置,包括外壳,所述外壳的一侧固定连接有抽气泵,所述外壳的另一侧固定连接有抽气管,所述外壳的内部固定连接有粗过滤板,所述外壳的内部滑动连接有存放箱,所述外壳的底部固定连接有底座,所述底座的内部固定连接有固定块,所述固定块的一侧设置有锥齿轮一,所述底座的内部固定连接有支撑架,所述支撑架的中部转动连接诶有限位块,所述限位块的中部固定连接有锥齿轮二。本实用新型中,通过双头电机、锥齿轮一、螺纹杆、活动柱等结构的相互配合下,带动了活动板进行上下移动,从而带动了整体设备进行移动,方便对不同位置的硅微粉进行回收再次利用。

主权项:1.一种硅微粉负压收集装置,包括外壳1,其特征在于:所述外壳1的一侧固定连接有抽气泵3,所述外壳1的另一侧固定连接有抽气管2,所述外壳1的内部固定连接有粗过滤板18,所述外壳1的内部滑动连接有存放箱5,所述外壳1的底部固定连接有底座4,所述底座4的内部固定连接有固定块6,所述固定块6的一侧设置有锥齿轮一8,所述底座4的内部固定连接有支撑架10,所述支撑架10的中部转动连接诶有限位块11,所述限位块11的中部固定连接有锥齿轮二9,所述锥齿轮一8和所述锥齿轮二9相互啮合,所述锥齿轮二9的底部固定连接有螺纹杆12,所述螺纹杆12的外周螺纹连接有活动柱13,所述活动柱13的底部固定连接有活动板16,所述活动板16的底部固定连接有多个万向轮17,所述底座4的内部设有驱动组件。

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