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申请/专利权人：南通玖方新材料股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种提升局部位置强度的硅片承载盘，包括承载框（1）和承载盘（2），承载盘（2）定位安装在承载框（1）上，承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，承载框（1）设置有横向支撑杆一（7）和横向支撑杆二（11），横向支撑杆一（7）和横向支撑杆二（11）之间连接有加粗支撑杆（9），本实用新型使得承载框的局部位置强度得到保障，从而确保承载框的正常使用。
主权项：1.一种提升局部位置强度的硅片承载盘，其特征在于：包括承载框（1）和承载盘（2），所述承载盘（2）定位安装在承载框（1）上，所述承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在所述存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，所述承载框（1）设置有横向支撑杆一（7）和横向支撑杆二（11），所述横向支撑杆一（7）和横向支撑杆二（11）之间连接有加粗支撑杆（9）；所述横向支撑杆一（7）与加粗支撑杆（9）之间设置有左角码（8），所述横向支撑杆二（11）与加粗支撑杆（9）之间设置有右角码（10）；所述承载盘（2）包括承载盘一（4）和承载盘二（6），所述承载盘一（4）和承载盘二（6）通过T型销（5）相互连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通玖方新材料股份有限公司 一种提升局部位置强度的硅片承载盘
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