龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海探跃半导体设备有限公司
摘要：本实用新型属于掩膜版加工技术领域，尤其涉及一种复合型掩膜版。该复合型掩膜版包括板体、对版标记和图案块，板体设置为方形；对版标记间隔设于板体上，对版标记包括第一标记集和第二标记集，用于与不同型号的光刻机对位；图案块间隔设于板体上，图案块包括共用图案块、第一图案集和第二图案集，共用图案块设于板体的几何中心，共用图案块能选择性地与第一图案集或第二图案集组合成不同的测试图案集，以测定不同型号的光刻机的视场倾角。通过将第一标记集和第二标记集集成在同一个板体上，使用共用图案块与第一图案集或第二图案集组合成不同的测试图案集，以测定不同型号的光刻机的视场倾角，简化了测定光刻机视场倾角的流程，提高了测定效率。
主权项：1.复合型掩膜版，其特征在于，包括：板体10，所述板体10设置为方形；对版标记，所述对版标记间隔设于所述板体10上，所述对版标记包括第一标记集和第二标记集，用于与不同型号的光刻机对位；图案块，所述图案块间隔设于所述板体10上，所述图案块包括共用图案块31、第一图案集和第二图案集，所述共用图案块31设于所述板体10的几何中心，所述共用图案块31能选择性地与所述第一图案集或所述第二图案集组合成不同的测试图案集，以测定不同型号的所述光刻机的视场倾角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海探跃半导体设备有限公司 复合型掩膜版
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号