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申请/专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
摘要：本实用新型提出的一种精细金属掩膜版带材的制备装置，涉及因瓦合金超薄带材的生产领域。该制备装置包括熔融管、冷却辊、传送机构和收卷装置；冷却辊位于熔融管的下方，承接从熔融管流出的合金熔液，以及使合金熔液冷却成固体并输出薄的带材；传送机构位于冷却辊的输出侧下方，承接由冷却辊输出的带材并往下游输送；收卷装置将传送机构输送的带材完成收卷；熔融管包括收容段和出料段，收容段由其进液口往下渐缩，出料段的上端相接于收容段的下口，下端具有矩形出料口，出料口的宽度为D，长度为L，且满足：0.2mm≤D≤5mm，L＝5～40·D。本装置适用甩带工艺生产厚度在20μm以下的因瓦合金带材。
主权项：1.一种精细金属掩膜版带材的制备装置，其特征在于，包括：熔融管3，用作收容合金熔液的容器；以及冷却辊4，其位于熔融管3的下方，承接从熔融管3流出的合金熔液，以及使合金熔液冷却成固体并输出薄的带材；以及传送机构，其位于冷却辊4的输出侧下方，承接由冷却辊4输出的带材并往下游输送；以及收卷装置7，经传送机构输送的带材送入收卷装置7完成收卷；所述的熔融管3包括收容段301和出料段302，收容段301由其进液口往下渐缩，出料段302的上端相接于收容段301的下口，下端具有矩形出料口，出料口的宽度为D，长度为L，且满足：0.2mm≤D≤5mm，L＝5～40·D。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏高光半导体材料有限公司 一种精细金属掩膜版带材的制备装置
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