Document
拖动滑块完成拼图
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

石墨下环及石墨环 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:重庆万国半导体科技有限公司

摘要:本实用新型涉及外延炉辅助装置领域,公开了一种石墨下环及石墨环,包括下环本体,所述下环本体上沿一轴向开设有一第一定位孔,所述下环本体上沿第一定位孔的圆周方向设置有一下扣部,所述下扣部和下环本体均由石墨制成并围合形成有一第一L形空间,所述第一L形空间用于与石墨上环扣合并用于限制热电偶变形。上述石墨下环及石墨环通过下环本体与下扣部之间形成的第一L形空间,在便于安装热电偶的同时,第一L形空间用于支撑热电偶,使热电偶在受到反应腔内高温影响而形变时支撑下垂的热电偶,使热电偶不具备形变下垂的条件而无法下垂变形,从而使热电偶能够继续测温,以能够实时对反应腔内的石墨进行测温,从而便于调控反应腔内温度而保证石墨基座的使用寿命。

主权项:1.一种石墨下环,包括下环本体,其特征在于:所述下环本体上沿一轴向开设有一第一定位孔,所述下环本体上沿第一定位孔的圆周方向设置有一下扣部,所述下扣部和下环本体均由石墨制成并围合形成有一第一L形空间,所述第一L形空间用于与石墨上环扣合并用于限制热电偶变形。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 重庆万国半导体科技有限公司 石墨下环及石墨环

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。