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申请/专利权人：北京凯德石英股份有限公司
摘要：本申请涉及气相成膜技术的领域，提供一种外延工艺用流道盖板，其包括成膜板和加强板，所述加强板平行于所述成膜板设置，且所述加强板位于所述成膜板的上方，所述成膜板的左右两侧均连接有支撑侧板；所述支撑侧板的一侧用于与对象结构抵接，另一侧与所述加强板连接。本申请具有在确保盖板本身不至于承受过大压力的同时，兼顾单晶薄膜的成膜效率的效果。
主权项：1.一种外延工艺用流道盖板，其特征在于：包括成膜板（1）和加强板（2），所述加强板（2）平行于所述成膜板（1）设置，且所述加强板（2）位于所述成膜板（1）的上方，所述成膜板（1）的左右两侧均连接有支撑侧板（3）；所述支撑侧板（3）的一侧用于与对象结构抵接，另一侧与所述加强板（2）连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京凯德石英股份有限公司 一种外延工艺用流道盖板
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