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申请/专利权人：上海派拉纶生物技术股份有限公司
申请日：2024-09-06
公开（公告）日：2025-01-14
公开（公告）号：CN119307888A
专利技术分类：..向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法[2006.01]
专利摘要：一种复合叠层防水涂层制备装置，涉及到多层薄膜沉积技术领域。主体为双层腔室设计，双层腔室同时引入ALD进气单元与Parylene进气单元，双层腔室之间接入低温流质进气单元，将需镀膜样置于腔室内样品支架上，通过低温流质（如液氮）实现腔体的快速降温，极大限度缩减涂层沉积后的降温等待时间，提高了ALD涂层加Parylene的复合叠层防水涂层的制备效率。同时因设备具有快速降温能力，可以高效实现样品的不同沉积温度复合叠层防水涂层的制备。
专利权项：1.一种复合叠层防水涂层制备装置，其特征是：主体为双层腔室，包括外层腔室（10）与内层腔室（11），内层腔室（11）设有ALD进气管路（4）、Parylene进气管路（5）、内部加热装置（12）和抽空管路（14），外层腔室（10）设有低温流质输送管路（2）。样品通过打开腔室顶盖（8）后放置在样品支架（13）上，腔室顶盖部分设有密封胶圈（9）用于密封保护，在内层腔室（11）实现样品的不同沉积温度复合叠层的制备。
百度查询： 上海派拉纶生物技术股份有限公司 一种复合叠层防水涂层制备装置
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