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申请/专利权人：哈尔滨工业大学;哈工大郑州研究院
申请日：2024-10-18
公开（公告）日：2025-01-14
公开（公告）号：CN119307892A
专利技术分类：..以加热基体的方法为特征的（C23C16/48、C23C16/50优先）[2006.01]
专利摘要：适用于曲面原子层沉积设备的均匀加热装置，本发明是为了解决传统原子层沉积技术仅适用于平面衬底，在曲面上进行原子层沉积存在衬底加热不均的问题。本发明均匀加热装置中的导热球壳为半球壳体并设置有热电偶，加热丝螺旋盘绕在导热球壳的外壳表面形成加热体，保温球壳由竖直管体与半球壳组成，竖直管体设置在半球壳的外壳中心处形成一体结构，加热体套设在保温球壳内，舱盖上开有通孔，保温球壳的竖直管体插入通孔内，通过调节卡扣卡夹住竖直管体。应用该均匀加热装置到曲面原子层沉积设备上，在衬底上制备TiO2薄膜，验证了加热的均匀性。本发明均匀加热装置实现了衬底各个区域温差在10℃以内，保证了原子层沉积用于曲面镀膜时的均匀性。
专利权项：1.适用于曲面原子层沉积设备的均匀加热装置，其特征在于该适用于曲面原子层沉积设备的均匀加热装置包括导热球壳1、热电偶2、加热丝3、保温球壳4和调节卡扣5，导热球壳1为半球壳体，热电偶2设置在导热球壳1的外壳中部，加热丝3螺旋盘绕在导热球壳1的外壳表面形成加热体；所述保温球壳4由竖直管体4-1与半球壳4-2组成，竖直管体4-1设置在半球壳4-2的外壳中心处并形成一体结构，加热体套设在保温球壳4内，加热丝3和热电偶2的自由端从竖直管体4-1的顶部伸出；舱盖7上开有通孔，保温球壳4的竖直管体4-1插入该通孔内，保温球壳4的半球壳4-2位于原子层沉积设备的舱体内，通过调节卡扣5卡夹住竖直管体4-1以固定保温球壳4的位置。
百度查询： 哈尔滨工业大学 哈工大郑州研究院 适用于曲面原子层沉积设备的均匀加热装置
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