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申请/专利权人：理玛镀膜科技(无锡)有限公司
申请日：2024-12-11
公开（公告）日：2025-01-14
公开（公告）号：CN119307867A
专利技术分类：...爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法（C23C14/34至C23C14/48优先）[2006.01]
专利摘要：本发明的针对现有技术中存在的痛点，设计出一款结构简单，但是镀膜洁净度较高、沉积率高的小口径弯管，同时为了解决镀膜面积的问题，本专利配备有扩口螺线管及放大扩口；为解决均匀性和沉积效率的问题，本专利设置有偏压电场进一步提高镀膜的均匀性和沉积效率。本发明的一套完整解决方案，极大提高镀膜效率。
专利权项：1.一种可扩大镀膜面积的高效R形阴极真空弧磁过滤弯管装置，其特征在于设置有过滤管道、扩口螺线管、放大扩口、镀膜真空箱体、镀膜支架及偏压电源。其中过滤管道分为入口管道、第一过滤弯管、第二过滤弯管、第三过滤弯管，扩口螺线管分为小口径端与大口径端，第三过滤弯管与扩口螺线管小口径端连接，扩口螺线管大口径端与放大扩口一端连接，放大扩口另一端连接镀膜真空箱体。等离子束从入口管道进入后在第一过滤弯管后逆时针运动，在第二过滤弯管中顺时针运动，在第三过滤弯管中逆时针运动，随后进入扩口螺线管，最终通过放大扩口进入真空箱体。
百度查询： 理玛镀膜科技(无锡)有限公司 一种可扩大镀膜面积的高效R形阴极真空弧磁过滤弯管装置
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