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申请/专利权人：泊肃叶科技(沈阳)有限公司

申请日：2023-07-11

公开（公告）日：2025-01-14

公开（公告）号：CN119307877A

专利技术分类：..连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器[2006.01]

专利摘要：本发明公开一种卷绕镀膜设备及卷绕镀膜方法，卷绕镀膜设备包括真空腔室和计算控制中心；真空腔室内设置有偶数个镀膜辊。柔性薄膜在绕经每个镀膜辊时均通过真空蒸发镀膜分别在两个表面上沉积导电镀层。柔性薄膜上已沉积有导电镀层的两个表面均施加有负偏压，各镀膜辊上均施加有正偏压。除1号镀膜辊外，每个镀膜辊的两侧均设置有1个电压测量辊，用于在线测量柔性薄膜上与该电压测量辊相接触的表面的电压。计算控制中心实时获得各镀膜辊上的偏压值、各电压测量辊的电压测量值，以及各镀膜辊中的冷却介质温度和流量，然后通过综合计算分析实时调控除第一个镀膜辊外的每个镀膜辊上的偏压值，从而调控柔性薄膜在各镀膜辊上的贴附力和初始表面温度。

专利权项：1.一种卷绕镀膜设备，其特征在于，包括真空系统、真空腔室和计算控制中心；真空系统用于对真空腔室抽真空；真空腔室内设置有放卷辊、收卷辊和n个镀膜辊，其中，n为4～10范围的偶数；柔性薄膜从放卷辊放出，在依次绕经1号镀膜辊至n号镀膜辊时均通过真空蒸发镀膜在柔性薄膜表面沉积导电镀层，再由收卷辊收起；镀膜辊的内部通有冷却介质，镀膜辊的表面外层设置有电绝缘层；1号镀膜辊的下游设置有第一偏压辊，用于对柔性薄膜上已沉积有导电镀层的第一面施加负偏压；2号镀膜辊的下游设置有第二偏压辊，用于对柔性薄膜上已沉积有导电镀层的第二面施加负偏压；除了1号镀膜辊之外，每个镀膜辊的两侧均设置有1个电压测量辊，从2号镀膜辊上游的1号电压测量辊开始依次编号至n号镀膜辊下游的n号电压测量辊；电压测量辊用于在线测量柔性薄膜上与该电压测量辊相接触的表面的电压；计算控制中心通过偏压发生装置预先在各镀膜辊的表面上均施加具有初始偏压值的正偏压；计算控制中心实时获得各镀膜辊上的偏压值、第一偏压辊和第二偏压辊施加的偏压值、来自各电压测量辊的电压测量值，以及各镀膜辊中的冷却介质温度和流量，然后通过综合计算分析实时调控需要施加到2～n号镀膜辊上的偏压值。

百度查询： 泊肃叶科技(沈阳)有限公司 一种卷绕镀膜设备及卷绕镀膜方法