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申请/专利权人：浙江中科应用技术研究院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心
申请日：2024-11-22
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119320935A
专利技术分类：..产生反应气流的方法，例如通过母体材料的蒸发或升华[2006.01]
专利摘要：本发明属于前驱体源源瓶技术领域，涉及一种用于ALD设备的固态源瓶，包括：存储瓶体，用于存储固态源粉末；加热组件，用于加热所述存储瓶体内的固态源粉末使其升华得到气态源粉末；所述加热组件设置于所述存储瓶体上；进料组件，用于向所述存储瓶体内输送固态源粉末；所述进料组件设置于所述存储瓶体上；出气组件，用于排出气态源粉末；所述出气组件设置于所述存储瓶体上。本申请提供的一种用于ALD设备的固态源瓶采用加热棒的加热形式比缠绕的加热丝加热更均匀，维护更方便，导热片可使固态前驱体受热更均匀性，利用率更高；本申请具有固态前驱体受热均匀、灌装量大、利用率高的优良特性。
专利权项：1.一种用于ALD设备的固态源瓶，其特征在于，包括：存储瓶体，用于存储固态源粉末；加热组件，用于加热所述存储瓶体内的固态源粉末使其升华得到气态源粉末；所述加热组件设置于所述存储瓶体上；进料组件，用于向所述存储瓶体内输送固态源粉末；所述进料组件设置于所述存储瓶体上；出气组件，用于排出气态源粉末；所述出气组件设置于所述存储瓶体上。
百度查询： 浙江中科应用技术研究院 嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心 一种用于ALD设备的固态源瓶
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