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申请/专利权人：株式会社新柯隆
申请日：2023-10-06
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119325524A
专利技术分类：..氧化物（C23C14/10优先）[2006.01]
专利摘要：一种氧化钇皮膜，其皮膜的维氏硬度为900HV以上，氧化钇晶体的222面的基于X射线衍射的半值宽度为0.7°以上，在氧化钇的晶体结构中，222面优先取向，X射线衍射中的222面的衍射强度为其他晶面的2倍以上，能够形成于要求耐腐蚀性、耐磨性、耐粉尘产生性等的部件的表面，通过PVD法、CVD法、ALD法中的任一种、特别是离子束辅助蒸镀法形成。
专利权项：1.一种氧化钇皮膜，其皮膜的维氏硬度为900HV以上。
百度查询： 株式会社新柯隆 钇系皮膜及其制造方法
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