恭喜北京凯芯新材料科技有限公司张忠恕获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京凯芯新材料科技有限公司申请的专利一种基座获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222029053U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2024-11-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420614477.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种基座是由张忠恕;张娟;赵鹤;杨波;齐芷彬;高闯设计研发完成，并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基座在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制作的技术领域，提供了一种基座，其包括基座本体，所述基座本体的上表面绕自身轴线开设有环形凹槽，所述基座本体的上表面开设有连通于环形凹槽的定位卡槽。本申请通过设置的环形凹槽，对通过保温桶热传导到基座本体上的热量所引起的内应力，在环形凹槽内进行释放，减少由于内应力拉伸，以使得基座本体靠近于保温桶的表面出现破裂的可能，以延长该基座本体的使用寿命；以及通过设置的定位卡槽，以使得保温桶和基座同轴转动，进而以对放置在保温桶上的多个半导体衬底同轴转动的有益效果。
本实用新型一种基座在权利要求书中公布了：1.一种基座，其特征在于：包括基座本体（1），所述基座本体（1）的上表面绕自身轴线开设有环形凹槽（2），所述基座本体（1）的上表面开设有连通于环形凹槽（2）的定位卡槽（3）。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京凯芯新材料科技有限公司，其通讯地址为：101100 北京市通州区环科中路16号41幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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