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龙图腾网恭喜上海澈芯科技有限公司申请的专利一种晶圆吸盘快换装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222320229U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420935438.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸盘快换装置是由王凯;彭博方设计研发完成，并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆吸盘快换装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆吸盘快换装置，涉及半导体检测技术领域。本实用新型包止动块、转台、转接板、晶圆吸盘；止动块上对称设有两连接臂，连接臂上通过插销孔安装有与转接板侧部止动销孔相匹配的止动销，使转接板和转转台本体下部方形固定不动而不会和上层的晶圆吸盘一起随动；晶圆吸盘的盘面上相对轴心两侧对称开设有两个钥匙状的组合定位孔以及拉簧立柱螺纹安装孔，组合定位孔包括小直径半圆的定位孔以及大直径的盲销定位孔。本实用新型能够迅速的对晶圆吸盘进行拆卸和换装，定位精准且拆卸方便，无需繁复的打标装调，能够极大节约产线停机时间，提高生产效率，且不需要通过专业调试人员参与即可实现快换。

本实用新型一种晶圆吸盘快换装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸盘快换装置，其特征在于，包括止动块9、由止动块9围抱的转台1、安装于转台1上的转接板2、安装于转接板2上的晶圆吸盘3；所述止动块9上对称设有两连接臂，所述连接臂上通过插销孔安装有与转接板2侧部止动销孔相匹配的止动销10，使转接板2和转转台1本体下部方形固定不动而不会和上层的晶圆吸盘3一起随动；所述晶圆吸盘3的盘面上相对轴心两侧对称开设有两个钥匙状的组合定位孔以及拉簧立柱螺纹安装孔，组合定位孔包括小直径半圆的定位孔以及大直径的盲销定位孔，盲销定位孔打入有孔端朝上的带孔定位销5，定位孔内安装有拉簧插销8，拉簧立柱螺纹安装孔内安装有拉簧立柱7，拉簧插销8上部拉簧孔与拉簧立柱7上部拉簧孔之间连接拉簧6，带孔定位销5底部穿过盲销定位孔与转接板2上的盲销孔21相连。

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