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龙图腾网恭喜江苏元宇汇芯电子科技有限公司申请的专利一种高精度差分电容式MEMS压力传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222318294U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421210362.9，技术领域涉及：G01L9/12；该实用新型一种高精度差分电容式MEMS压力传感器是由陶启;李中元;陈李;杨军设计研发完成，并于2024-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精度差分电容式MEMS压力传感器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高精度差分电容式MEMS压力传感器，包括从上至下依次设置的顶板层、上键合层、敏感结构层、下键合层和底板层；所述顶板层、敏感结构层和底板层的中部分别对应设置有顶层电容极板、敏感层电容极板和底层电容极板，所述顶层电容极板上设置有若干个贯穿的顶层气孔；所述顶层电容极板与敏感层电容极板之间设置有与顶层气孔连通的上电容间隙，所述敏感层电容极板与底层电容极板之间设置有真空密封的下电容间隙；所述敏感结构层包括敏感层边框和敏感层电容极板，所述敏感层边框的中部设置有敏感层电容极板，且敏感层电容极板的周侧通过敏感层弹性薄膜与敏感层边框连接。本实用新型增强了对共模信号的抑制，提高了输出信号的信噪比；同时提高了电容值变化量与气压或压力变化量之间的线性度，具有较好的实用性。

本实用新型一种高精度差分电容式MEMS压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种高精度差分电容式MEMS压力传感器，其特征在于，包括从上至下依次设置的顶板层、上键合层、敏感结构层、下键合层和底板层；所述顶板层、敏感结构层和底板层的中部分别对应设置有顶层电容极板（2）、敏感层电容极板（7）和底层电容极板（9），所述顶层电容极板（2）上设置有若干个贯穿的顶层气孔（3）；所述顶层电容极板（2）与敏感层电容极板（7）之间设置有与顶层气孔（3）连通的上电容间隙（10），所述敏感层电容极板（7）与底层电容极板（9）之间设置有真空密封的下电容间隙（11）；所述敏感结构层包括敏感层边框（5）和敏感层电容极板（7），所述敏感层边框（5）的中部设置有敏感层电容极板（7），且敏感层电容极板（7）的周侧通过敏感层弹性薄膜（6）与敏感层边框（5）连接。

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