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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利先进温度监测系统和用于半导体制造生产力的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111727499B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980013792.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权先进温度监测系统和用于半导体制造生产力的方法是由路雪松;琳·张;约瑟夫·C·沃纳;吴昌锡;巴拉基·帕苏帕希;迈克尔·W·约翰逊设计研发完成，并于2019-01-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本先进温度监测系统和用于半导体制造生产力的方法在说明书摘要公布了：本文中的实施方式提供监测流体输送管道和其他部件的温度的方法和与所述方法相关的监测系统，所述流体输送管道用于将流体输送到在电子装置制造中使用的处理腔室的处理空间，所述其他部件在处理腔室的处理空间外部。在一个实施方式中，一种监测处理系统的方法包括以下步骤：经由数据采集装置接收来自一个或多个温度传感器的温度信息，和接收来自系统控制器的背景信息，所述系统控制器耦接至包括处理腔传达室的处理系统。在此，一个或多个温度传感器设置在处理腔室的处理空间外部的一个或多个位置中。背景信息与由系统控制器执行以控制处理系统的一个或多个操作的指令相关。

本发明授权先进温度监测系统和用于半导体制造生产力的方法在权利要求书中公布了：1.一种监测处理系统的方法，包括以下步骤：在远程监测器处接收来自一个或多个温度传感器的温度信息，其中所述一个或多个温度传感器设置在处理腔室的处理空间外部的一个或多个位置中；接收来自系统控制器的背景信息，所述系统控制器耦接至包括所述处理腔室的处理系统，其中所述背景信息与由所述系统控制器执行以控制所述处理系统的一个或多个操作的指令相关；和基于所述温度信息和所述背景信息，使用所述远程监测器监测所述处理系统，其中所述监测包括：产生历史数据，所述历史数据包含温度信息、背景信息和对应于所述温度信息与所述背景信息的日期与时间信息；和将所述历史数据储存在所述远程监测器的存储器中；和将所述历史数据与一个或多个预定控制界限作比较。

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