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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于高温处理的静电夹盘组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111916387B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010783977.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权用于高温处理的静电夹盘组件是由V·D·帕科设计研发完成，并于2015-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于高温处理的静电夹盘组件在说明书摘要公布了：一种静电夹盘组件包括定位盘与冷却板。定位盘包括电性绝缘的上定位盘板，上定位盘板包括一个或更多个加热元件以及一个或更多个电极，以用于静电地固定基板，且定位盘进一步包括下定位盘板，下定位盘板通过金属接合而接合至上定位盘板，下定位盘板包括多个特征，多个特征在距离下定位盘板的中心的多个不同的距离处分布在下定位盘板的底侧上，其中多个特征的每一者容纳多个紧固件中的一者。冷却板通过多个紧固件而耦接至定位盘，其中多个紧固件各自施加大致相等的紧固力，以将冷却板耦接至定位盘。

本发明授权用于高温处理的静电夹盘组件在权利要求书中公布了：1.一种静电定位盘，包括：电性绝缘的上定位盘板，所述上定位盘板包括陶瓷材料、一个或更多个加热元件以及一个或更多个电极，以用于静电地固定基板；以及下定位盘板，所述下定位盘板接合至所述上定位盘板，所述下定位盘板包括多个特征，所述多个特征在距离所述下定位盘板的中心的多个不同的距离处分布在所述下定位盘板上，所述下定位盘板包括所述陶瓷材料；以及以下项中的至少一者：a嵌入所述下定位盘板内的多个螺纹插入件，其中所述多个螺纹插入件中的每个螺纹插入件设置在所述多个特征中的特征内，并且其中所述多个螺纹插入件中的每一者容纳第一多个螺纹紧固件中的一者，或者b至少部分地嵌入所述下定位盘板内的第二多个螺纹紧固件，其中所述第二多个螺纹紧固件中的每个螺纹紧固件的头部设置在所述多个特征中的特征内；其中所述多个紧固件在所述下定位盘板的底表面中包括多个孔，其中所述多个孔中的每个孔a提供对所述多个螺纹插入件中的一者或多者的接取或b使得所述第二多个螺纹插入件中的一者的轴部从所述底表面突伸，其中所述上定位盘板缺少所述多个特征。

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