安徽格楠机械有限公司曾庆明获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽格楠机械有限公司申请的专利一种大直径硅片精密研磨抛光机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222570325U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420602634.3,技术领域涉及:B24B29/02;该实用新型一种大直径硅片精密研磨抛光机是由曾庆明;赵亮;曾庆华;万明;镇咸生设计研发完成,并于2024-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大直径硅片精密研磨抛光机在说明书摘要公布了:本实用新型属于大直径硅片研磨抛光技术领域,公开了一种大直径硅片精密研磨抛光机,包括底箱、承载结构、抛光结构,其特征在于:所述的底箱顶部设置有底架,在底架上设置有推动结构、输液结构、抽真空结构,在底架上设置有立柱,并在立柱上设置有顶板,所述的承载结构活动设置在底架与底架之间,将承载结构与推动结构活动连接,在承载结构上设置有垫环,所述的抛光结构设置在顶板上。本实用新型通过电机一带动传动轴及传动轴与传动轴之间的传输带正向或反向旋转,传输带带动推杆移动,使推杆推动承载结构在底架与底架之间来回移动,使承载结构带动需要研磨抛光的大直径硅片移动,使抛光结构对不同位置的大直径硅片进行抛光处理,提高大直径硅片的抛光效率。
本实用新型一种大直径硅片精密研磨抛光机在权利要求书中公布了:1.一种大直径硅片精密研磨抛光机,包括底箱、承载结构、抛光结构,其特征在于:所述的底箱顶部设置有底架,在底架上设置有推动结构、输液结构、抽真空结构,在底架上设置有立柱,并在立柱上设置有顶板,所述的承载结构活动设置在底架与底架之间,将承载结构与推动结构活动连接,在承载结构上设置有垫环,并将承载结构与抽真空结构连接,所述的抛光结构设置在顶板上。
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