恭喜武汉锐晶激光芯片技术有限公司高文丽获国家专利权
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龙图腾网恭喜武汉锐晶激光芯片技术有限公司申请的专利一种卡塞夹具及PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222581142U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420548767.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种卡塞夹具及PECVD设备是由高文丽;童启;陈洲峰;张坤;王虎;程谦;段会强设计研发完成，并于2024-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种卡塞夹具及PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种卡塞夹具及PECVD设备，包括本体、挡板和底板，其中，本体上开设有凹槽，凹槽为夹角状结构；挡板设置在本体的一侧，且挡板与本体呈夹角状设置；底板设置在挡板与本体的夹角处，且底板与本体的底面平齐。本申请通过在本体上设置挡板和底板，如此在本卡塞夹具放置到PECVD设备上后，可实现限位，保证位置放置准确，同时底板可进一步增加卡塞夹具与PECVD的接触面积，保证放置稳定；在本卡塞夹具放置到PECVD上使用时，由于卡塞夹具具有一定的高度，可防止取放晶圆时工作人员接触到高温的片槽，避免烫伤，提高了应用的安全性。
本实用新型一种卡塞夹具及PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种卡塞夹具，其特征在于：包括本体1、挡板2和底板3，其中，所述本体1上开设有凹槽101，所述凹槽101为夹角状结构；所述挡板2设置在所述本体1的一侧，且所述挡板2与所述本体1呈夹角状设置；所述底板3设置在所述挡板2与所述本体1的夹角处，且所述底板3与所述本体1的底面平齐。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉锐晶激光芯片技术有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区科技三路99号(自贸区武汉片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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