恭喜江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司李远田获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司申请的专利五氯化钽粉料气化送粉组件及碳化钽涂层合成装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222574779U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420385882.7，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型五氯化钽粉料气化送粉组件及碳化钽涂层合成装置是由李远田;张平设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本五氯化钽粉料气化送粉组件及碳化钽涂层合成装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种五氯化钽粉料气化送粉组件及碳化钽涂层合成装置，五氯化钽粉料气化送粉组件包括：粉料罐，粉料罐用于存放五氯化钽粉末，粉料罐具有加料口和出料口，加料口设于粉料罐的顶端，出料口设于粉料罐的底端；铰刀模块，铰刀模块设于粉料罐的下端，铰刀模块具有粉料入口和粉料出口，粉料入口与出料口连通，粉料出口处设有控制开关阀；气化室，气化室的进口与控制开关阀连通，气化室的出口与化学气相沉积炉连通。根据本实用新型的五氯化钽粉料气化送粉组件，可大量加入五氯化钽粉末，铰刀模块和开关控制阀可精确控制五氯化钽粉末的加入量，可使得粉末气化均匀，可满足大规模批量生产的需要，有利于提高碳化钽涂层的合成质量。
本实用新型五氯化钽粉料气化送粉组件及碳化钽涂层合成装置在权利要求书中公布了：1.一种五氯化钽粉料气化送粉组件，其特征在于，包括：粉料罐，所述粉料罐用于存放五氯化钽粉末，所述粉料罐具有加料口和出料口，所述加料口设于所述粉料罐的顶端，所述出料口设于所述粉料罐的底端；铰刀模块，所述铰刀模块设于所述粉料罐的下端，所述铰刀模块具有粉料入口和粉料出口，所述粉料入口与所述出料口连通，所述粉料出口处设有控制开关阀；气化室，所述气化室的进口与所述控制开关阀连通，所述气化室的出口与化学气相沉积炉连通。
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