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龙图腾网恭喜宸微设备科技(苏州)有限公司申请的专利一种用于刻蚀的基片烘烤腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117276131B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311303821.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于刻蚀的基片烘烤腔室是由张满;姚成汉设计研发完成，并于2023-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于刻蚀的基片烘烤腔室在说明书摘要公布了：本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种用于刻蚀的基片烘烤腔室，包括第一烘烤室、第二烘烤室、加热单元、控制单元、以及盖板；第一烘烤室的顶壁为中间隔断板结构，所述第二烘烤室的底壁为中间隔断板结构；盖板分别可拆卸固定连接第一烘烤室的顶壁、以及第二烘烤室的底壁；第一烘烤室内设置有至少两个基片承托结构，第一烘烤室的外壁上设置有第一抽气口、以及第一狭缝；第二烘烤室内设置有至少两个基片承托结构，第二烘烤室的外壁上设置有第二抽气口、以及第二狭缝；本发明提供了一种具有多个独立腔室的烘干装置，各腔室的反应条件互不干扰，并且避免了烘干过程中腔室需要频繁开启的问题，保证基片一致性的前提下，提高了产能。

本发明授权一种用于刻蚀的基片烘烤腔室在权利要求书中公布了：1.一种用于刻蚀的基片烘烤腔室，所述基片烘烤腔室连接传输腔室，所述传输腔室用于将基片送入所述基片烘烤腔室或者将所述基片烘烤腔室中的基片拿出，其特征在于，包括第一烘烤室、第二烘烤室、加热单元、控制单元、以及盖板；所述第一烘烤室的顶壁为中间隔断板结构，所述第二烘烤室的底壁为中间隔断板结构；所述盖板分别可拆卸固定连接所述第一烘烤室的顶壁、以及所述第二烘烤室的底壁，以封堵所述第一烘烤室的顶壁、以及所述第二烘烤室的底壁，所述盖板拆除时，用于对所述第一烘烤室进行检修和维护，所述盖板位于所述第一烘烤室的顶壁和所述第二烘烤室的底壁的重叠区域的中部；所述第一烘烤室内设置有至少两个基片承托结构，所述第一烘烤室的外壁上设置有第一抽气口、以及第一狭缝；所述第二烘烤室内设置有至少两个基片承托结构，所述第二烘烤室的外壁上设置有第二抽气口、以及第二狭缝；所述第一抽气口和所述第二抽气口均用于抽走对基片表面进行烘烤之后的气态生成物，所述第一狭缝和所述第二狭缝均用于通过基片；各层腔室呈阶梯状设置，为每一层腔室预留出一块用于设置抽气口的空间，所述抽气口位于所述腔室的底部，且所述第二抽气口暴露在所述第一烘烤室外部，第一抽气口位于所述第一烘烤室底壁上远离所述传输腔室的位置，第一进气口位于第一烘烤室远离所述传输腔室的侧壁上，第二进气口位于所述第二烘烤室顶壁上远离所述传输腔室的位置；第二距离大于第一距离，且所述第二距离与所述第一距离的差值为预设距离，所述预设距离用于容纳设置于所述第二烘烤室底部的第二抽气结构，所述第二抽气结构与所述第二抽气口连接；所述第一距离为所述第一狭缝与所述传输腔室之间的距离，所述第二距离为所述第二狭缝与所述传输腔室之间的距离；所述加热单元设置在基片承托结构内，所述加热单元用于对所述第一烘烤室和所述第二烘烤室的温度进行调节；所述控制单元用于对所述加热单元进行控制，以使得所述第一烘烤室和所述第二烘烤室在进行基片烘烤时候的温度一致；所述第一狭缝和所述第二狭缝用于和所述基片烘烤腔室所连接的传输腔室的同一侧对齐。

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