恭喜北京微元时代科技有限公司;湖南云箭集团有限公司杨俊飞获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京微元时代科技有限公司;湖南云箭集团有限公司申请的专利一种梳齿电容式加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115407084B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211268113.0,技术领域涉及:G01P15/125;该发明授权一种梳齿电容式加速度计是由杨俊飞;任延超;闫桂珍;段国栋设计研发完成,并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种梳齿电容式加速度计在说明书摘要公布了:本发明公开一种梳齿电容式加速度计,涉及微机械加速度计技术领域,包括衬底和加速度计结构,加速度计结构设置于衬底上;加速度计结构包括固支框架、敏感质量块框架和非可动电极组件,非可动电极组件通过电极锚点固定于衬底上,敏感质量块框架上设置有可动电极组件,可动电极组件与非可动电极组件一一对应,且相对应的可动电极组件与非可动电极组件构成梳齿电容结构;固支框架通过固支框架锚点固定于衬底上,且固支框架通过弹性结构与敏感质量块框架连接,弹性结构使敏感质量块框架能够沿敏感轴方向移动。本发明可以有效降低加速度计结构内部的热应力,从而保证加速度计在环境温度变化时性能稳定。
本发明授权一种梳齿电容式加速度计在权利要求书中公布了:1.一种梳齿电容式加速度计,其特征在于:包括衬底和加速度计结构,所述加速度计结构设置于所述衬底上;所述加速度计结构包括固支框架、敏感质量块框架和非可动电极组件,所述非可动电极组件通过电极锚点固定于所述衬底上,所述敏感质量块框架上设置有可动电极组件,所述可动电极组件与所述非可动电极组件一一对应,且相对应的所述可动电极组件与所述非可动电极组件构成梳齿电容结构;所述固支框架通过固支框架锚点固定于所述衬底上,所述固支框架锚点位于所述加速度计结构的中心位置,且所述固支框架通过弹性结构与所述敏感质量块框架连接,所述弹性结构使所述敏感质量块框架能够沿敏感轴方向移动;所述固支框架为十字型框架,且所述固支框架位于所述敏感质量块框架内,所述十字型框架包括相互垂直的纵向框架和横向框架,所述横向框架的中心线与X轴共线,所述纵向框架的中心线与Y轴共线,所述纵向框架的两端关于所述X轴对称,所述横向框架的两端关于所述Y轴对称,所述固支框架锚点的中心位于所述X轴与所述Y轴的交点;其中,所述X轴与所述敏感轴平行;所述横向框架的两端均设置有连接部,所述连接部通过所述弹性结构与所述敏感质量块框架连接,所述纵向框架的两端通过所述弹性结构与所述敏感质量块框架连接。
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